Установка ваккумной металлизации УВН 4М (Липецк) с RUTA WAU 2001/SV630/A Б/У

Назначение и область применения. Установка предназначена для нанесения декоративных покрытий из нержавеющей стали, алюминия, меди, латуни, бронзы на поверхность полимерных укупорочных изделий методом магнетронного распыления в среде аргона.  Линия состоит из основных следующих узлов:  ? Приемная камера  ? Механизм вращения технологической оснастки  ? Пульт контроля и управления установки  ? Инверторы магнетронного распыления  ? Паромасляные насосы Состав установки. 1.1 Вакуумная система Вакуумная камера: вакуумно плотная с натеканием при давлении 10-3Па не более 0.133 л?Па/с, объемом 0.5м3, предельное внутреннее давление 10-4Па. Имеет технологические отверстия для загрузки и выгрузки деталей (двери камеры), для подключения диффузионных насосов, для подключения механического насоса, для подключения натекателя аргона, для клапана напуска воздуха, для манометрических преобразователей высокого вакуума и форвакуума, для установки 4-х магнетронов, высоковольтного ввода ионной очистки, ввода вращения оснастки. Высоковакуумный затвор: обеспечивает подключение диффузионного насоса к вакуумной камере при давлении 10-4Па – 101 Па, с регулируемым проходным сечением (затвор закрыт, открыт, полуоткрыт). Высоковакуумный манометрический преобразователь: обеспечивает измерение давления в диапазоне 10-6Па – 101 Па. Форвакуумный манометрический преобразователь: обеспечивает измерение давления в диапазоне 100Па – 105 Па. Форвакуумный клапан: обеспечивает герметичное отсоединение частей вакуумной системы с перепадом давлений до 105 Па. Вспомогательный механический насос: предназначен для обеспечения рабочего режима диффузионного насоса. Основной механический насос: предназначен для откачки вакуумной камеры до давления 100Па. Управляемый натекатель аргона: обеспечивает регулируемую аргоновую течь, поддерживающую давление в камере в пределах (10-1-10Па) с погрешностью не более 10% от установленного значения. Клапан напуска воздуха: обеспечивает подачу осушенного воздуха в камеру по окончании технологического цикла, время разгерметизации 20 секунд.  1.2 Система металлизации. Включает в себя 4 магнетрона, встроенных в стенки вакуумной камеры. Скорость нанесения покрытия 10 нм/с. Расположение магнетронов обеспечивает равномерную по толщине металлизацию изделий. 1.3 Система активации. Включает в себя высоковольтный источник питания и сеточный электрод. Расположение электрода обеспечивает равномерную активацию всех загруженных в камеру деталей. Загрузочное устройство: предназначено для автоматической загрузки, разгрузки и позиционирования в вакуумной камере оснастки с установленными на ней изделиями. Ввод вращения: предназначен для придания вращения изделиям во время обработки с частотой не менее 2 оборотов в минуту. 1.4 Система управления: Обеспечивает возможность оперативной корректировки параметров технологического цикла, а так же выполнения полного цикла металлизации. 1.5 Система охлаждения: Обеспечивает отвод тепловой мощности от диффузионного насоса и магнетронов. Тем