Установка вакуумного напыления (Магнетрон)

Вакуумные установки на базе УВН-71 оснащенные магнетронными распылительными системами (от 1 до 4).  Разработанная конструкция отличается высокой надежностью, простотой управления и эксплуатации при относительно невысокой стоимости.  Установки оснащена необходимым комплексом современных приборов и устройств, обеспечивающих осаждение покрытий металлов их соединений и РС сплавов с заданными свойствами, хорошей адгезией и высокой равномерностью по площади. Комплекс устройств и приборов, входящих в состав установки – новым полуавтоматическим (автоматическим) блоком управления вакуумной системой – магнетронной распылительной системой на постоянном токе (от 1 до 4 магнетронов) возможна установка аксиальных (круглых) магнетронов диаметром от 70 до 160 мм или линейных магнетронами от 120* 270 мм до 120 * 670 мм – системой нагрева (с контролем и поддержанием заданной температуры)) – системой очистки напыляемых изделий в тлеющем разряде – системой перемещения изделий в вакуумной камере (простая или планетарная карусель) – цифровым вакууметром – системой контроля сопротивления растущей пленки  – инверторным блоком питания магнетронов (мощностью до 10 кВт) - возможна комплектация установки ВЧ-блоком питания (13,56 МГц, мощность 1кВт)  Установки собранные на нашем предприятии успешно работают на различных предприятиях, в том числе:  ОАО "Экспериментальный завод" (Холдинговая компания "Ленинец"), Санкт-Петербург ОАО "Ферроприбор", Санкт-Петербург ООО "Системы Папилон", Миасс ООО "СТП", Красноярск ООО "Орнамент", Санкт-Петербург ГУАП (Государственный университет аэрокосмического приборостроения), Санкт-Петербург